手机版 |
产品分类 |
泵
高精密微流控压力泵P-OEM-ULTRA
Fluigent正负压高精密微流控压力泵Push-Pull
微流控微滴制备系统
微流控石油驱替系统(可视化研究)
微流控动态电阻抗测试系统
微流控PLGA制备系统
Fluigent高精密微流控压力泵PX
Fluigent高精密微流控压力泵P-OEM
Fluigent高精密微流控压力泵MFCS EZ
Fluigent高精密微流控压力泵MFCS EX
相关仪表
SVM340倒置显微镜
HF2IS阻抗谱仪
可变增益低噪声电流放大器
超低噪声电流放大器
UHFAWG任意波形发生器
Time Tagger系列多通道数据采集器
Pulsed Diode Laser脉冲二极管激光器
苏黎世(ZI) UHF—PID四通道控制器/双锁相
苏黎世(ZI)MFLI锁相放大器
UHFLI超高频双通道锁相放大器
测厚仪
SURAGUS EddyCus® TF膜厚面阻测试仪
美国AST光谱反射薄膜分析仪SR300
美国AST MSP300显微分光光度计
光谱反射薄膜测厚仪SR100
MSP100显微分光光度计
光谱反射薄膜测厚仪SR500
芯片系统
微流控芯片热压成型机Sublym100 ™
微流控芯片快速制备材料Flexdym ™
Micronit微流控芯片标准夹具FC系列
Micronit微流控微混合芯片
KLOE微流控芯片光刻机/曝光机UV-KUB系列
CorSolutions PDMS微流控芯片打孔器PDMS Port Crea
制样/消解设备
Best tools匀胶显影一体机SC100D
Best tools精密热板HP100
CD1000等离子表面处理设备
CD600等离子表面处理设备
CD400PLC低压等离子表面处理设备
Europlasma CD600PLC低压等离子表面处理设备
光学仪器及设备
美国AST椭偏薄膜分析仪SE200-MSP
微流控显微光谱分析系统
美国AST SE200BM/300BM系列椭偏薄膜分析仪
美国AST椭偏仪SE200BA/500BA系列
椭偏仪SE200BA
生物工程设备
BEC微流控细胞培养环境仓培养箱ECO-M
AMF细胞培养灌流系统
LabSmith微流控温度控制器冷热板uTE系列
BelektroniG微流控高精度温度控制器BTC系列
色谱仪
微流控器官模拟(细胞)培养系统
Fluigent微流控全自动细胞灌流仪ARIA
其他
LabSmith高压可编程电源uEP300-12
LabSmith高压电源HVS448
光谱检测分析仪
uRaman拉曼光谱仪
测量/计量仪器
苏黎世UHF—BOX Boxcar均分器
电化学仪器
微流控电化学阻抗测试系统
清洗/消毒设备
Femto Science等离子清洗机表面处理设备CUTE
工业在线及过程控制仪器
LabSmith微流控压力传感器压力计uPS系列
实验室家具
微流控综合实验平台
液体处理设备
微流控微液滴发生器实验平台
比表面积测定仪
EddyCus® TF portable德国Suragus手持式无损膜面阻测试仪
联系方式 |
产品系列
KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列
图片
简介
法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理zui大直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列先进的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其zui小分辨率可达2μm,zui大发散角小于2°
本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
规格参数
项目 | UV-KUB 2 | UV-KUB 3 |
zui小分辨率 | 2 μm | 2 μm |
光源波长 | 365 nm / 385 nm / 405 nm | 365 nm |
能量密度 | 25 mW / cm2 ± 10 % | 30 mW / cm2 ± 10 % |
热效应zui大升温 | < 1°C | < 1°C |
曝光时间 | 1s~18 hours | 1s~18 hours |
zui大存储程序数量 | 10个 | 无限制 |
对准分辨率 | / | < 3 μm |
外形尺寸 | 260 x 260 x 260 mm3 | 480 x 480 x 480 mm3 |
重量 | 8.2 kg | 55 kg |
显示屏 | 彩色触摸屏5.7 inches | 彩色触摸屏15.6 inches |
功能图解
UV-KUB 2型光刻机,是国际市场上一款采用UV-LED光源系统的光刻机,其配备了基于LED光源的光学头,使用寿命大大提高,结构小巧,性价比高,非常适合实验室应用。
UV-KUB 3是一款带对位功能的UV-LED曝光机,光源为365nm,其触摸屏和CCD相机代替了传统的显微镜及双筒目镜,控制器提供了图像捕获、测量以及对齐坐标的记录等功能,可以实现预对准,这样,用户再通过操作手柄便能方便的进行对准操作。
UV-KUB 2
UV-KUB 3
应用系统
微流控芯片
MEMS器件