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产品系列
产品介绍:
反应舱:
材料:铝
有效尺寸:400 x 400 x 400mm
容积:64升
舱门:装有可视窗口
托盘:4个。尺寸:305 x 360 x 40mm
真空度测量:
皮拉尼真空计(利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的,而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关)
真空泵:
旋片式真空泵;30m3 每小时;含真空泵油。
频射发生器:
0~600w可调,100KHZ发生器
控制系统:
触摸屏操作,PLC控制系统
PLC可实现下列功能:
1、自动控制反应过程;
2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程;
3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标;
4、监测所有的运行指标,保证在设定范围之内;
5、 设定操作、维护密码。
电源:
380V AC、三相、50Hz、40A.
反应气体:
一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC);根据用户需要,可扩展
气体输入:
直径1/4英寸(0.645厘米)管道;输入压力:1Bar.
尾气排放:
直径28mm 输出端口。
安全性能:
急停开关;真空泵保护锁;高温保护锁;CE安全认证。
可选件:
300 m3/小时 的机械增压泵
频射发生器:2.45GHZ, 13.56MHZ
多个气体输入管道。
根据客户工艺要求制作的软件程序
根据客户要求制作的托盘。
辊轮式载料系统。
N2 Purge.
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