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产品系列
MSP系列薄膜分析产品来自美国AST(Angstrom Sun )公司,其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了极大便利。
产品简介:
显微分光光度计(Micro-Photometry、Micro Spectrophotometry)是用来描述薄膜、涂层厚度超过1微米的物件的光学性能的。显微分光光度计同样也被称作为:microreflectometer、micro-reflectometer、microspectrometer、microphotometer(Spectroscopic)、microspectroscopic photometer等等。依靠着Angstrom公司独特的专业设计,MSP系列产品有着在线的实时数字成像系统,以及强大的数字编辑能力、拥有者反射率、透射率及吸收光谱等测量工具。可以在毫秒的时间内就完成数据采集。在进行诸如反射、透射、涂层厚度、折射率(光学常数)等光学性能改变的运动学研究方面,TFProbe软件允许用户设立加热阶段或冷却阶段。在各种MSP型号的可移动X-Y平台或ρ-θ平台中都可以用到自动成像功能,在使用螺杆的电动调焦功能上也同样的能使用此功能。仪器所能测量的波长范围通常是用户考虑的*重要的一个参数,Angstrom公司的MSP产品,其测量波长覆盖了从深紫外光(DUV)到近红外光的范围。这个波长范围应当诸如薄膜或涂层的厚度、反射或透射的典型波长范围等因素决定。
产品特点:
基于视窗结构的软件,很容易操作
先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计,以确保系统能发挥出**的性能及*长的正常运行时间
基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量
低价格,便携式及灵巧的操作台面设计
在很小的尺寸范围内,*多可测量多达5层的薄膜厚度及折射率
在毫秒的时间内,可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数
能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率
系统配备大量的光学常数数据及数据库
对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析
系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一体
能够应用于不同类型、不同厚度(*厚可测200mm)的基片测量
使用深紫外光测量的薄膜厚度*低可至20 Ǻ
2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面
先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量
各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应用
系统配置:
型号:MSP300R
探测器:2048像素的CCD阵列
光源:直流稳压卤素灯
光传送方式:光纤
自动的台架平台:特殊处理的铝合金操作平台,手动调节移动范围为75mm×55mm
物镜有着长焦点距离:4×,10×,50×
通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
测量类型:反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数
计算机硬件:英特儿酷睿2双核处理器,200G硬盘、DVD刻录机,19”LCD显示器
电源:110–240V AC/50-60Hz,3A
尺寸:16’x16’x18’ (操作桌面设置)
重量:120磅总重
保修:一年的整机及零备件保修
基本参数:
波长范围:400nm到1000 nm
波长分辨率: 1nm
光斑尺寸:100µm (4x), 40µm (10x), 8µm (50x)
样品尺寸:标准150×150mm
基片尺寸:*多可至20mm厚
测量厚度范围: 10nm 到25 µm
测量时间:*快2毫秒
精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
重复性误差:小于2 Ǻ
应用领域:
半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..)
医学,生物薄膜及材料领域等
油墨,矿物学,颜料,调色剂等
医药及医药中间设备等
光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
半导体化合物
在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
非晶体,纳米材料和结晶硅
产品可选项:
波长可扩展到远深紫外光(MSP100)或者近红外光范围(MSP500)
高功率的深紫外光用于小斑点测量
可根据客户的特殊需求来定制
在动态实验研究时,可根据需要对平台进行加热或致冷
可选择的平台尺寸*多可测量300mm大小尺寸的样品
更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm
各种滤光片可供各种特殊的需求
可添加应用于荧光测量的附件
可添加用于拉曼应用的附件
可添加用于偏光应用的附件
自动成像平台*多可对300mm的晶片进行操作
相关薄膜物性分析产品应用及产品技术问题,
欢迎关注:北京燕京电子官方页面,或与我们联系。
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薄膜物性分析仪器系列(膜厚,光学参数,反射谱及颜色,膜面阻,等)
膜厚,光学参数:
SR100 薄膜分析仪
SR300 薄膜分析仪
SR500 薄膜分析仪
SE200BA 椭偏薄膜分析仪
SE200BM 椭偏薄膜分析仪
SE200-MSP 椭偏薄膜分析仪
SE300BM 椭偏薄膜分析仪
SE500BA 椭偏薄膜分析仪
MSP100 薄膜分析仪
MSP300 薄膜分析仪
MSP500 薄膜分析仪
uRaman TechnoSpex-拉曼光谱仪及模块
膜面阻:
EddyCus®-TF lab 2020、
EddyCus®-TF lab 4040、
EddyCus®-TF map 2020SR、
EddyCus®-TF map Hybrid 、
EddyCus®-TF inline、
EddyCus®-TF lab Hybrid
定制型