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联系方式 |
产品系列
产品简介:
SR系列薄膜分析产品来自美国AST(Angstrom Sun)公司,其可以实现薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜进行分析提供了极大便利。
特点:
· 易于安装
· 容易操作的基于视窗结构的软件
· 先进的光学设计,以确保能发挥出**的系统性能
· 基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量
· 独特的光源设计,有着较好的光源强度稳定性
· 有四种方法来调整光的强度:
§ 通过电源的调节旋钮来调节电源输出的大小
§ 在光输出端口滤光槽内调整滤光片来调整
§ 调整光束大小
§ 通过TFProbe软件,在探测器里调整积分时间
· *多可测量5层的薄膜厚度和折射率
· 在毫秒的时间内,可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数
· 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量
· 系统配备大量的光学常数数据及数据库
· 对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析;
· 可升级至MSP(显微分光光度计)系统,SRM成像系统,多通道分析系统,大点测量。
· 通过模式和特性结构直接测量。
· 提供的各种配件可用于特殊结构的测量,例如通过曲线表面进行纵长测量。
· 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。
系统配置:
· 型号:SR300
· 探测器: 2048像素的CCD线阵列
· 光源:高稳定性、长寿命的卤素灯
· 光传送方式:光纤
· 台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量、200mmx200mm的大小
· 软件: TFProbe 2.2版本的软件
· 通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
· 测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率
· 电脑硬件要求:P3以上、*低50 MB的空间
· 电源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
· 保修:一年的整机及零备件保修
选项
?1用于传递和吸收测量的传动夹具(SR300RT) )
2.*低可测量直径为5μm(MSP300)
3. 在多个位置下,多个通道用于同时测量(SR300xX)
4. 在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘(SRM300-300/200)
规格:
· 波长范围:400到1100 nm
· 光斑尺寸:500μm至5mm
· 样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm
· 基板尺寸:*多可至50毫米厚
· 测量厚度范围:20nm到50μm
· 测量时间:*快2毫秒
· 精确度:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
· 重复性误差:小于1Ǻ
应用:
•半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
•液晶显示(ITO,PR,cell gap... ..)
•医学,生物薄膜及材料领域等
•油墨,矿物学,颜料,墨粉
•医药,中间设备
•光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
•半导体化合物
•在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
•非晶体,纳米材料和结晶硅
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相关薄膜物性分析产品应用及产品技术问题,
欢迎关注:北京燕京电子官方页面,或与我们联系。
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薄膜物性分析仪器系列(膜厚,光学参数,反射谱及颜色,膜面阻,等)
膜厚,光学参数:
SR100 薄膜分析仪
SR300 薄膜分析仪
SR500 薄膜分析仪
SE200BA 椭偏薄膜分析仪
SE200BM 椭偏薄膜分析仪
SE200-MSP 椭偏薄膜分析仪
SE300BM 椭偏薄膜分析仪
SE500BA 椭偏薄膜分析仪
MSP100 薄膜分析仪
MSP300 薄膜分析仪
MSP500 薄膜分析仪
uRaman TechnoSpex-拉曼光谱仪及模块
膜面阻:
EddyCus®-TF lab 2020、
EddyCus®-TF lab 4040、
EddyCus®-TF map 2020SR、
EddyCus®-TF map Hybrid 、
EddyCus®-TF inline、
EddyCus®-TF lab Hybrid
定制型