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产品系列
特点:
·易于安装
·基于视窗结构的软件,很容易操作
·先进的光学设计,以确保能发挥出**的系统性能
·基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量
·独特的光源设计,有着较好的光源强度稳定性
·有四种方法来调整光的强度:
§ 通过电源的调节旋钮来调节电源输出的大小
§ 在光输出端口滤光槽内调整滤光片来调整
§ 调整光束大小
§ 通过TFProbe软件,在探测器里调整积分时间
·*多可测量5层的薄膜厚度和折射率
·在毫秒的时间内,可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数
·能够用于实时或在线的厚度、折射率测量
·系统配备大量的光学常数数据及数据库
·对于每个被测薄膜样品,用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析;
·可升级至MSP(显微分光光度计)系统,SRM成像系统,多通道分析系统,大点测量。
·通过模式和特性结构直接测量。
·能够应用于不同类型、不同厚度的基片测量。
·提供的各种配件可用于特殊结构的测量,例如通过曲线表面进行纵长测量。
·2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。
系统配置:
· 型号:SR500R
·双探测器:对于紫外可见光用CCD,对于近红外使用InGaAs探测器
· 光源:氘和卤素灯
·光传送方式:光纤
·台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量,200mmx200mm的大小
· 软件:TFProbe 2.2版本的软件
· 通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
· 测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率
· 电脑硬件要求:P3以上、*低50 MB的空间
·电源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
· 保修:一年的整机及零备件保修
规格:
· 波长范围:250nm到1700 nm
· 光斑尺寸:500μm至5mm
· 样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm
· 基板尺寸:*多可至50毫米厚
· 测量厚度范围*:2nm?150μm
· 测量时间:*快2毫秒
· 精确度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
· 重复性误差*:小于1A
应用:
· 半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
· 液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..)
· 医学,生物薄膜及材料领域等
· 油墨,矿物学,颜料,调色剂等
· 医药设备
· 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
· 半导体化合物
· 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
· 非晶体,纳米材料和结晶硅